桌面级光刻机将数天工序压至数分钟 降低芯片制造门槛

美国得克萨斯大学奥斯汀分校的研究团队开发出一种桌面级极紫外光刻装置，并结合新型三维纳米打印技术，将原本需要数天完成的加工过程压缩至数分钟，进一步降低了半导体芯片...